產(chǎn)品描述

日立高新磁控濺射器(MC1000)采用電磁管電極，能有效減輕對(duì)樣品的損傷并實(shí)現(xiàn)均勻涂覆，適用于高分辨率掃描式電子顯微鏡。設(shè)備支持最大樣品直徑60mm，高度20mm，配備LCD觸摸屏便于操作，具備記憶功能存儲(chǔ)常用條件，并可選配處理較大樣品的配件。

應(yīng)用領(lǐng)域

一、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)領(lǐng)域

1. 磁性薄膜制備：用于制備硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器中的磁性存儲(chǔ)薄膜。通過(guò)磁控濺射技術(shù)，可以精確控制磁性薄膜的厚度、成分和晶體結(jié)構(gòu)，從而實(shí)現(xiàn)高存儲(chǔ)密度和快速的數(shù)據(jù)讀寫(xiě)性能。例如，濺射鈷基合金薄膜作為磁記錄介質(zhì)，能夠提高硬盤(pán)的存儲(chǔ)容量和數(shù)據(jù)傳輸速率。

2. 磁頭材料鍍膜：對(duì)磁頭的表面進(jìn)行濺射鍍膜，可改善磁頭的性能和耐磨性。例如，在磁頭表面濺射一層氮化碳薄膜，能夠提高磁頭的硬度和抗腐蝕性能，同時(shí)減少磁頭與磁盤(pán)之間的摩擦，提高磁頭的使用壽命和讀寫(xiě)精度。

二、能源領(lǐng)域

1. 太陽(yáng)能電池：在太陽(yáng)能電池的制備中，MC1000可用于濺射透明導(dǎo)電氧化物薄膜，如氧化銦錫（ITO）薄膜，作為太陽(yáng)能電池的電極，具有高透明度和良好的導(dǎo)電性，能夠提高電池的光電轉(zhuǎn)換效率。此外，還可濺射減反射薄膜，增加太陽(yáng)能電池對(duì)太陽(yáng)光的吸收。

2. 燃料電池：用于制備燃料電池中的催化劑薄膜和電解質(zhì)薄膜。例如，濺射鉑基催化劑薄膜在質(zhì)子交換膜燃料電池的電極上，能夠提高催化劑的活性和穩(wěn)定性，促進(jìn)電化學(xué)反應(yīng)的進(jìn)行。同時(shí)，濺射電解質(zhì)薄膜可以提高燃料電池的性能和效率。

三、珠寶裝飾領(lǐng)域

1. 金屬薄膜鍍膜：在珠寶飾品表面濺射各種金屬薄膜，如金、銀、鉑等，可實(shí)現(xiàn)仿金、仿銀等效果，提高飾品的外觀質(zhì)量和裝飾性。同時(shí)，濺射的薄膜具有良好的耐磨性和耐腐蝕性，能夠保護(hù)飾品表面，延長(zhǎng)其使用壽命。

2. 彩色薄膜制備：通過(guò)磁控濺射技術(shù)制備各種彩色薄膜，如氮化鈦（TiN）薄膜具有金黃色的外觀，氮化鋯（ZrN）薄膜具有銀白色的外觀，碳化鈦（TiC）薄膜具有黑色的外觀等。這些彩色薄膜可用于珠寶飾品的表面裝飾，增加飾品的色彩多樣性和獨(dú)特性。

儀器功能

一、導(dǎo)電膜制備：主要用于為掃描電鏡樣品鍍制導(dǎo)電膜，通過(guò)向不導(dǎo)電或?qū)щ娦圆畹臉悠繁砻鎳婂兘?、鉑、鈀及混合靶材等金屬，消除樣品的荷電現(xiàn)象，提高觀測(cè)效率，以便于在掃描電鏡下進(jìn)行高倍率觀測(cè)。

二、鍍膜均勻：利用磁場(chǎng)控制金屬顆粒的濺射噴鍍軌跡，使鍍層更均勻，能在樣品表面形成均勻的粒子涂層，適用于高分辨率的掃描式電子顯微鏡，可滿足對(duì)微觀結(jié)構(gòu)較復(fù)雜樣品的觀測(cè)需求。

三、條件控制與調(diào)節(jié)：在電鍍過(guò)程中可調(diào)節(jié)真空強(qiáng)度，并可按照電流強(qiáng)度或者時(shí)間對(duì)電鍍效果進(jìn)行調(diào)節(jié)，樣品噴鍍高度距離可調(diào)。還可通過(guò)選配測(cè)量單元實(shí)現(xiàn)1nm至30nm的鍍層厚度控制。

儀器特點(diǎn)

一、操作便捷：采用LCD觸摸屏控制技術(shù)，操作方便，界面友好，可直觀地進(jìn)行各種參數(shù)設(shè)置。同時(shí)具有記憶功能，可存儲(chǔ)五種常用的加工條件，方便用戶快速調(diào)用，提高工作效率。

二、樣品適應(yīng)性強(qiáng)：標(biāo)準(zhǔn)配置下最大樣品直徑可達(dá)60mm，高度為20mm，并且可通過(guò)選配件處理較厚或較大的樣品，能滿足不同尺寸和形狀樣品的濺射鍍膜需求。

三、損傷小：采用電磁管電極，最大限度減少對(duì)樣品的損傷，特別適合對(duì)精細(xì)樣品進(jìn)行處理。

四、放電穩(wěn)定：屬于磁控二極管放電型（電場(chǎng)垂直于磁場(chǎng)），電極組成為反向平行盤(pán)（嵌入磁鐵），這種結(jié)構(gòu)使得放電穩(wěn)定，能夠提供穩(wěn)定的濺射條件，保證鍍膜質(zhì)量。

技術(shù)指標(biāo)和基本參數(shù)